应根据产品发展及生产工艺更新改造和扩大生产规模的要求来确定。
1．洁净厂房宜采用大跨度柱网，不宜采用内墙承重的结构体系，这样便于适应工艺的变化和进行改造。
2．洁净厂房围护结构应采用满足保温、防火、防潮、少产尘、易清洁的材料、可随意组装、可拆卸、可重复使用，如夹芯彩钢板就是洁净厂房围护结构最常用的材料。
3．洁净厂房的洁净区域不应穿越变形缝、沉降缝，如工艺设计需要洁净区域面积很大必须设有变形缝时应采取相应的密封措施。
4．洁净厂房上、下技术层，技术夹道（竖向）应满足生产工艺、空调管道、动力、电、水专业的管道的要求。
图 3-1 洁净厂房工艺与技术层剖面图
可参见图3-1所表示的两个电子工厂洁净厂房的工程实例图，这种形式常用于集成电路的芯片生产或TFT-LCD生产厂房。洁净生产层（工艺层）上部的技术夹层，一般用于净化空调系统的送风静压箱或安装循环送风的空调箱或FFU装置和风管以及动力管线，层高一般约3m左右（也有更高的）。洁净生产层（工艺层）活动地板和多孔板以下的下技术夹层，一般用于设置公用动力设施及管线。也是净化空调系统的回风静压箱。层高一般约为4m（也有更高的）。这种形式的洁净厂房，一般规模大，产品生产工艺连续性强，自动化程度高，所以在进行建筑平面、空调布局和构造设计时，应与工艺设计，公用动力工程设计密切配合，充分满足生产工艺需要和各种公用动力管设施的安装维护要求，方便运行管理的建筑设计。这种设量型式，属于垂直单向流或混合流洁净室。洁净室西侧的技术夹道主要用于安装空气过滤器、干盘管、灯具、风管和各种公用动力管线，技术夹道的宽度应与各专业设计人员商量决定。
5．洁净厂房内的通道宽度应满足人员操作、疏散、物料运输，设备安装和检修的要求，如个别工艺设备体积很大可以让设备先就位再做内装隔断，也可以用活络隔断（可拆卸）留出大型设备进出的通道，便于大型设备的更新和检修。
