与洁净技术相关的一些主要概念、术语和定义如下：
（1）洁净室 clean room
我国国家标准GB 50072-2001《洁净厂房设计规范》将洁净室定义为“空气悬浮粒子浓度受控的房间”。并要求“它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内的其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制”。这一定义与最新的ISO14644国际标准的定义是一致的。定义包含了以下几个要点：
1）洁净室以空气中悬浮粒子浓度为主要控制对象，明确了空气洁净技术的基本特征，也是洁净室级别划分的主要依据。随着洁净技术的发展和应用日益广泛，生物洁净室在工业洁净室的基础上大量出现，国标GB50073—2001也给出了生物洁净室的定义：“洁净室空气中悬浮微生物控制在规定值内的限定空间”。微生物通常是依附在粒子上在空气中运动的，所以控制微生物的净化措施与工业洁净室一样也要依靠粒子过滤器。从这一点上讲，上述洁净室的定义可以包括工业和生物洁净室。
2）指明了空气洁净技术所依据的基本原理，即：防止粒子从外部进入室内；防止室内产生粒子；及时排除已进入室内的或从室内产生的粒子。为保证洁净室内空气中的粒子浓度不超过标准，建筑、布局、工艺流程、人物流、材料、设备及净化空调系统所采取的设计方案、技术措施和运行管理都应遵循这一基本原理。
3）明确了根据不同的应用要求及控制级别对其它有关参数的控制要求。其中除了包括一般空调系统所应控制的温度、湿度、压力、流速等参数外，还可能有对AMC、静电、噪声等的控制要求。即使对常规控制参数（如温湿度和空气流速等）也提出不同的控制精度。
（2）洁净区 clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内的其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。
（3）粒径 particle size
实际粒子大多不是标准的球形，所以通常所说的粒径是“由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径”。同一种粒子用不同的测定仪器和测定方法测得的粒径是不一样的，所以在洁净室相关的粒子测定时应规定所使用的仪器与方法。
（4）悬浮粒子 airborne particle
用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1~5μm的固体和液体粒子。空气中实际悬浮粒子的粒径分布远超过此范围，但大于5μm的粒子（称为微粒子macro particle）因很容易被除去，所以不在洁净度分级要考虑的范围内。另外，不要将粒子仅局限于固态的“粉尘”，液态粒子同样属于控制对象。
（5）洁净度cleanliness
以单位体积空气中悬浮粒子的数量（允许颗粒数）来区分的洁净程度。以前习惯采用英制单位——颗/立方英尺（pc/ft3），自国际标准颁布后，应采用国际单位制——颗/立方米（pc/m3）。
（6）单向流unidirectional airflow
沿单一方向呈平行流线并且横断面上空气流速一致的气流。以前曾习惯地称为“层流”，但由于它实际上并不是流体力学中所规定的“层流”，所以现在定义为“单向流”。根据工程中的应用方式可以包括“垂直单向流”和“水平单向流”。
（7）非单向流non-unidirectional airflow
凡不符合单向流定义的其他气流流型。在实际工程中还可以将单向流和非单向流气流流型组合应用，称为“混合流”。
（8）空态 as-built
洁净室设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员的状态。
（9）静态 at-rest
洁净室设施已经建成，生产设备已安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员的状态。
（10）动态operational
设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作的状态。
规定洁净室的“状态”主要是考虑到设计和竣工验收的需要，由于不同状态下实际的空气洁净度是不同的，所以业主及供应商必须预先商定验收状态。
