洁净空调技术在世界上已经历了半个多世纪的发展,随着科技与经济的发展,其应用范围愈加广泛,而且技术要求也更为复杂。目前它的代表性应用主要是在微电子工业、医疗卫生及食品工业等。
1.微电子工业
微电子工业是当前对洁净室要求最高的行业。大规模和超大规模集成电路(LSI、ULSI)以及液晶显示器(LCD)的生产与发展,对洁净度的要求越来越高。集成电路制造工艺中,集成度越大,则图形尺寸(以线宽为代表)越细,从而对洁净室控制粒径的尺寸也越小,且允许颗粒物浓度也越低。此外,如现代工业中的液晶、光纤等的生产,同样均有很高的洁净度要求。
2.医药工业
(1)药品生产
制药厂的生产环境对药品的生产质量、人体健康有重大关系。我国《药品生产管理规范》(即GMP)早已在全国范围内实施,对生产环境提出了相应于工艺过程不同的洁净度级别要求。对于原料药制备、粉剂、针剂、片剂、大输液的生产、灌装等工艺,均已制定了洁净区和控制区的洁净标准。作为生物洁净室,在对生物粒子(细菌数)有明确的限制条件之外,还限定空气中尘埃粒子的含量。
(2)医院
白血病的治疗室、烧伤病房、急性传染病的预防、外科手术室,也必须根据具体条件采用洁净技术,以防止空气中细菌感染,对治疗起到环境的保障作用。
(3)医学科学实验
对于实验动物的饲养、遗传工程等医学科学实验过程,亦需配备洁净环境,才能取得有效的成果。为此,以洁净技术为重要手段的生物安全技术也得到迅速的发展。
3.食品工业
食品的无菌包装(如软包装鲜果汁、牛乳等),在保持食品色、香、味、营养等方面大大优于用高温杀菌的罐装食品。所谓无菌包装,就是在洁净环境中完成包装工艺。我国已开始在某些食品行业内引入并推进《危害性临界控制点》(HACCP)的法规制定,其内容也与生产过程中洁净控制有关。
4.其它
其他如宇航工业、精密机械工业、仪器仪表工业、精细化学工业及日用化工等行业,均广泛地应用了洁净技术。