洁净室性能验收阶段验收要求如下：
1. 应通过对洁净室综合性能全面评定进行性能检验和性能确认，并应在性能确认合格后实现性能验收。
2. 综合性能全面评定检验进行之前，应对被测环境和风系统再次全面彻底清洁，系统应已连续运行12h以上。
3. 综合性能检验应由建设方委托有工程质检资质的第三方承担，检验表16.2.1中的必测项目和选择的非必测项目。检验仪表必须经过计量检定合格并在有效期内，按《GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范》的规定进行检验，最后提交的检验报告应符合《GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范》第16.1.5条的规定。建设方、设计方、施工方均应在场配合、协调。
4. 性能认应审核综合性能检验单位的资质、检验报告和检验结论。
5. 综合性能全面评定的必测项目中有1项不符合规范要求，或规范无要求时不符合设计要求，或不符合工艺特殊要求，而所有这些要求都是经过建设方和检验方协商同意并记入检验文件的，经过调整后重测符合要求时，应判为性能验收通过；重测仍不符合要求时，则该项性能验收应判为不通过。
6. 选测项目不符合要求，而必测目符合要求时，应不影响判断性能验收通过，但必须在性能验收文件中对不符合要求的选测项目予以说明。
