洁净室检验项目及方法如下:
1. 洁净室在高效过滤器现场检漏后的必测项目,应符合表1的要求,也可由该表选择选测项目。
表1 洁净室的检验项目
序号 |
项目 |
单向流 |
非单向流 |
执行内容 |
|
1~4级 |
5级 |
6~9级 |
|||
1 |
风口送风量(必要时系统总送风量) |
不测 |
必测 |
附录E.1 |
|
2 |
房间或系统新风量 |
必测 |
附录E.1 |
||
3 |
房间排风量 |
负压洁净室必测 |
附录E.1 |
||
4 |
室内工作区(或规定高度)截面风速 |
必测 |
不测 |
附录E.1 |
|
5 |
工作区(或规定高度)截面风速不均匀度 |
必测 |
必要时测 |
必要时测 |
附录E.3 |
6 |
送风口或特定边界的风速 |
不测 |
必要时测 |
附录E.1 |
|
7 |
静压差 |
必测 |
附录E.2 |
||
8 |
开门后门内0.6m处洁净度 |
必测 |
不测 |
附录E.2 |
|
9 |
洞口风速 |
必要时测 |
附录E.2 |
||
10 |
房间甲醛浓度 |
必测
|
附录E.13 |
||
11 |
房间氨浓度 |
必要时测 |
附录E.14 |
||
12 |
房间臭氧浓度 |
必要时测 |
附录E.14 |
||
13 |
房间二氧化碳浓度 |
必要时测 |
附录E.16 |
||
14 |
送风高效过滤器扫描检漏 |
必测 |
附录D.2、E3 |
||
15 |
排风高效过滤器扫描检漏 |
生物洁净室必测 |
附录D.2、E3 |
||
16 |
空气洁净度级别 |
必测 |
附录E.4 |
||
17 |
表面洁净度级别 |
必要时测 |
不测 |
由委托方和检验 方协商选定标准 |
|
18 |
温度 |
必测 |
附录E.5 |
续表1
序号 |
项目 |
单向流 |
非单向流 |
执行内容 |
|
1~4级 |
5级 |
6~9级 |
|||
19 |
相对湿度 |
必测 |
附录E.5 |
||
20 |
温湿度波动范围 |
必要时测 |
附录E.5.2 |
||
21 |
区域温度差与区域湿度差 |
必要时测 |
附录E.5.2 |
||
22 |
噪声 |
必测 |
附录E.6 |
||
23 |
照度 |
必测 |
附录E.7 |
||
24 |
围护结构严密性 |
必要时测 |
附录G.2~G.4 |
||
25 |
微振 |
必要时测 |
附录E.10 |
||
26 |
表面导静电 |
必要时测 |
附录E.9 |
||
27 |
气流流型 |
不测 |
必要时测 |
附录E.12.1 |
|
28 |
定向流 |
不测 |
必要时测 |
附录E.12.2 |
|
29 |
流线平行性 |
必要时测 |
不测 |
附录E.12.3 |
|
30 |
自净时间 |
必要时测 |
附录E.11 |
||
31 |
分子态污染物 |
必要时测 |
必要时测 |
附录H.2 |
|
32 |
浮游菌或沉降菌 |
有微生物浓度参数要求的洁净室必测 |
附录E.8.2、E.8.3 |
||
33 |
表面染菌密度 |
必要时测 |
附录E.8.4 |
||
34 |
生物学评价 |
必要时测 |
附录F.1~F.3 |
注:“必测项目”是指不论何种洁净室及相关受控环境在静态条件下验收、定检验时必须测定的项目,不得少测。“必要时测项目”是指有检查该项性能要求时选测的项目。动态监测时可在以上两项中选择测定项目。
2. 检验之前,应对所测环境作彻底清洁,但不得使用一般吸尘机吸尘。擦拭人员应穿洁净工作服,清洗剂可根据场合选用纯化水、有机溶剂、中性洗涤剂或自来水。
3. 检验项目首先宜测风速、风量、静压,然后检漏,再测洁净度。在其他必测项目测完并完成表面消毒后测定细菌浓度,测定细菌浓度前不得进行空气消毒。最后测定选测项目。
4. 表1中的检验项目应按所列附录的方法进行检验。当有明显理由不便执行本规范的检验方法时,可经委托方(用户)和检验方方协商用其他方法,并载入协议。