洁净室设备安装分项验收要求如下：
一、设备安装分项验收应符合下列规定：
1 应核对设备的所有文件和记录。设备安装应符合设计和艺要求。
2 对工艺设备的分项验收，必须有工艺人员参加。
二、设备安装的分项验收应包括以下主控项目：
1 设备安装基础应水平，每1m长度内允许误差应为0.5mm。
检验方法：用0.5m以上水平尺找平，用2m直尺和塞尺测量。
检验数量：所有有转动机构的设备。
2 减振垫和垫铁的放置应整齐、平衡、接触良好，垫铁组外露和伸入设备的长度应符合要求。
检验方法：观察检查。
检验数量：抽查30％。
3 设备上所有活动和需拆卸部件处均应有足够的活动空间。
检验方法：观察检查。
检验数量：抽查30％台件，不应少于2台。
4 风机的转动方向应无误。
检验方法：手盘或瞬间给电后观察。
检验数量：全部。
5 转动设备的主动和被动皮带轮之间的皮带应拉直，应无可见弯曲，松紧程度应合适。
检查方法：用直规检查平直，用手指在皮带中部按压检查松紧，能按下深度应在12.5mm～25mm之间。
检验数量：全部。
6 所有有转动机构的设备的隔振措施应符合设计要求，有绝热、隔热要求的部位应采取绝热、隔热措施。
检验方法：观察检查。
检验数量：抽查30％。
7 在保持1500Pa静压条件下，组合式空调机组箱体漏风率应符合下列规定：
用于1～5级净化空调系统的机组不应大于1％，用于6～9级净化空调系统的机组不应大于2％。
检验方法：应按现行国家标准《组合式空调机组》GB／T1429的方法执行。
检验数量：1～5级的为全部，6～9级的抽查30％，但不应少于1台。
8 安装后的生物安全柜部分性能，应符合《GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范》第11.4.8条的规定。
检验方法：核查文字记录。
检验数量：全部。
9 设备与围护结构间缝隙应有密封，外观良好。
检验方法：观察检查。
检验数量：抽查30％。
