一、洁净室化学物料供应系统设计一般规定
本章适用于洁净室中使用的具有爆炸性、易燃性、剧毒性和腐蚀性的酸、碱、有机溶剂等化学物料储存供应设备、输送系统管路的安装施工及验收。
二、洁净室化学物料供应系统储存设施设计要求
1. 储存间的机械排风出入口处应通畅无障碍，避免气体积聚。
2. 容器的搬运除应符合本规范第11章的相关规定外，严禁倒置、撞击。
3. 储存设施与空间在施工完成后应按规定在明显位置建立醒目标志。
4. 储存和配间设置的隔堤，堤内容积应大于最大储罐的容积，高度不低于500mm，堤体必须密实不漏，管道穿堤处应采用不燃材料密封。
三、洁净室化学物料供应系统管道与部件设计要求
1. 化学物料的输送管道及部件的材料，应符合设计要求，当设计未明确要求时，有机溶剂的管道宜用低碳不锈钢管，酸、碱类管道宜用聚四氟乙烯（PFA）管，并应要求设计方确认。
2. 阀门材料应与管道材质一致。阀管间垫片宜采用氟橡胶或聚四氟乙烯。
3. 在非金属管道中输送有腐蚀性、易燃性的化学物料时，必须采用保护套管，保护套管可用透明的聚氯乙烯（PVC）管；输送易燃性的化学物料时，可用熔点高于1100℃的金属套管。
4. 化学物料输送管道安装完成后，应关断通往容器阀门、卸下管中过滤器与流量计等附件，然后采用与洁净室洁净度匹配的干燥压缩空气、纯氮吹净，再用纯净水清洗。
四、 洁净室化学物料供应系统分项验收要求
1. 化学物料供应系统分项验收除应符合本规范外，还应遵守现行国家标准《常用危险化学品的分类及标志》GB13690和《工业金属管道工程施工及验收规范》GB 50235的相关规定。
2. 化学物料供应系统的分项验收应包括以下主控项目：
（1） 容器应经过严格的清洁，表面无伤痕，零件安装应牢固，并应使阀门操作方便、仪表读数容易。
检验方法：观察检查。
检验数量：全部。
（2） 容器垂直度的最大偏差，应不大于0.2％。
检验方法：观察检查、挂5m线，直尺量。
检验数量：全部。
（3） 系统管道吹净时间宜为1h～2h，直至排出气体洁净度符合设计要求。
检验方法：观察检查，粒子计数器测定。
检验数量：全部。
（4） 在1.5倍工作压力的检验压力下经30 min试验应无泄漏。
检验方法：检查试验记录。
检验数量：全部。
