1.一般要求:密封性好,有一定弹性;不易老化;容易凝结固化;尽可能使用单组份材料;容易施工;有一定的粘着力;无毒、无味、色泽外观与装饰协调;半导体工厂中使用的密封胶不应影响产品的良品率。准许使用的密封材料之一是GE162型硅胶(乙醇固化型),但价格不菲。
2.密封胶种类
密封胶很多,主要有以下几种。
(1)硅橡胶类
特点:有广泛的适应温区,耐药性、耐油性均好,但不耐苛性碱,有时可能发霉。
材料:由硅氧烷结构为主体半无机高分子橡胶状弹性材料,加入一定量的聚二甲基硅氧烷,以提高机械强度。
(2)聚氨酯类
特点:硬度高、弹性好、低温性能好、耐油和臭氧但耐水性较差。
材料:由多异氰酸酯与带活泼性氢的醇类、胺类经固化剂(如甘油)作用反应后的生成物。
(3)橡胶类
特点:弹性、耐药性、耐水性、耐油性和耐久性较好。
材料:合成橡胶(如丁腈橡胶)。
用于洁净室密封嵌缝材料必须有注明成分、品种、出厂日期、贮存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。不得使用过期的和未经鉴定的产品。必要时,所用材料及其在实验室检测产生气体的数据交由用户质量检验部门征询意见并取得书面的使用许可。