新风空调机组（MAU）加洁净空气循环机组（RAU）处理方案见图1。
图1 新风机组（MAU）加循环机组（RAU）空气处理方案示意图
这种空气处理方案往往用于多个洁净室组成的洁净生产车间，而且各洁净室的热湿负荷量相差较大，温湿度和洁净度的要求不同。一般情况下新风空调设置在专用的空调机房内，循环空调机组若风量大的也设置在空调机房内，若风量小的可将循环空调箱设置在吊顶内。循环空调机组和新风空调各自都有降温、除湿、加热、加湿、初、中效过滤功能段，当新空调机组将室外空气处理到机器露点和室内回风混合，再用循环空调机组处理到送风状态；还有一种做法就是新风空调机组将室外空气处理到机器露点，然后不再经过循环空调机直接和循环空调机的送风混合后送到室内，若过滤器是满布的就是在静压箱内混合后再送入室内。前一种做法循环风机的风量较大，后一种做法循环风机处理风量小往往可设置在吊顶内，在室外相对湿度较高的地区还需要在新风空调机组入口段加去湿功能段，否则光靠表冷器的去湿不能满足湿度的要求。
这种空气处理模式能满足各洁净室的温湿度、洁净度的不同要求，避免了一个洁净空调系统要满足不同洁净室的要求，只能求高不求低，全部按高标准设计造成初投资增加，运行费用也增加。这空调处理模式若将循环空调机组设置在吊顶内就必须将冷热水管也接进吊顶内，若发生漏水会造成很大的损失，这就对施工和管理提出了更高的要求。空气处理过程焓湿图见图2。
图2 新风机组（MAU）加循环机组（RAU）空气处理焓湿图(I-D)
