一、洁净室防静电设施一般规定
1. 洁净室防静电设施的施工,应能抑制或减少静电的产生,或易于泄漏已产生的静电。
2. 本章主要适用于防静电地面和管道系统部分防静电设施的施工和验收。防静电地面施工除应符合本章规定外,还应符合《GB 50591-2010 洁净室施工及验收规范》第4章的有关规定,以及现行行业标准《防静电地面施工及验收规范》SJ 31469的要求。
二、洁净室防静电地面设计要求
1. 防静电地面面层应选择耐磨、耐腐蚀、耐老化、不产尘、防火并具有稳定持久的防静电性能的材料制作。
2. 在有220V及其以上电压的场所,其防静电地面宜使用静电耗散型材料,其表层的表面电阻应为1×105Ω~1×1010Ω,或体积电阻1×104Ω~1×109Ω。
3. 具有不燃性能要求的地面宜选用防静电水磨石和防静电瓷质地板。